Отправлено undefined 21 сентября 2004 г. 21:46 В ответ на: Коллеги, подскажите плиз. В устройстве необходимо оценочно контролировать уроаень вакуума в камере. Какие интегральные решения этой задачи существуют? Нужен датчик минимального размера. отправлено jaws64 21 сентября 2004 г. 21:15

датчики разных газов. По жизни эти датчики работают на принципе абсорбции газа полупроводником. Т.е. реально чуют все что ни попадя газообразное. Можно их попробовать.
А вообще способов чуять вакуум можно много придумать. Начиная от измерения степени прогиба штатной стенки вакуумной камеры и заканчивая измерением ВАХ коронного разряда. Это, ессно, если плюс-минус два ведра не колышет.

• Ответ: Если можно, поподробнее. Может ссылку дадите. Заранее спасибо — jaws64   (21.09.2004 22:50, пустое)
  • Смотри по ссылке. У них есть такая штука: Примерно 10см диск, на нем разьем, в диске полость с reference vacuum закрытая мембраной. Если нужно что-то "на тяп-ляп" то ябы просто поискал манометр который работать может так. 0.1 атм, это даже не вакуум. — artem   (22.09.2004 05:59, пустое, ссылка)