Смотри по ссылке. У них есть такая штука: Примерно 10см диск, на нем разьем, в диске полость с reference vacuum закрытая мембраной. Если нужно что-то "на тяп-ляп" то ябы просто поискал манометр который работать может так. 0.1 атм, это даже не вакуум.
(«Телесистемы»: Конференция «Микроконтроллеры и их применение»)