Соберите лучше Альтеровский байт-бластер (или можно другое железо, увидите по ссылке) и воспользуйтесь прогой по ссылке. Все шьет четко. Она то меня и выручила, когда я ПониПрогом пытался перешить fuse-биты в АТМЕГЕ16 на внешний кварц, в результате чего МЕГА оказалась в режиме внешней частоты и для ПониПрога "умерла". Зато в этой проге можно генерить этот внешний такт, что и спасло.
(«Телесистемы»: «Конференция «Микроконтроллеры и их применение»»)