Я так понял, что есть микросхемы от того-же AD но они вроде все однофоазные и частоты разбегутся довольно быстро. Есть мысли что либо на контроллере/счетчике с ПЗУшкой и R2R цепочной либо на контроллере с 3хканальным ШИМом. Поправьте если что упустил