Если АВР тактируется от внутреннего RC-генератора, то его точность +-10%, если от кварца - то +-10E-5. Таймер любой, который не жалко, с предделителем в зависимости от частоты тактов, в режиме Clear On Compare Match
(«Телесистемы»: Конференция «Микроконтроллеры и их применение»)